• បដា_ទំព័រ

បន្ទប់សម្អាតឱសថស្ថាន ទល់នឹង បន្ទប់សម្អាតសម្ភារៈអេឡិចត្រូនិក៖ មួយណាដែលត្រូវការច្រើនជាង?

នៅពេលដែលមនុស្សឮថាទាំងរោងចក្រផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងរោងចក្រឱសថប្រើប្រាស់បន្ទប់ស្អាត ចម្លើយដែលសភាវគតិចំពោះ "តើមួយណាតឹងរ៉ឹងជាង?" ជាញឹកញាប់៖ "ជាការពិតណាស់ រោងចក្រផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ — ពួកវាដំណើរការនៅកម្រិតណាណូម៉ែត្រ។«

ចម្លើយនោះត្រឹមត្រូវតែពាក់កណ្តាលប៉ុណ្ណោះ។

មែនហើយ បន្ទប់សម្អាត​ឧបករណ៍​អេឡិចត្រូនិក​មាន​តម្រូវការ​ខ្ពស់​ណាស់—ប៉ុន្តែ «ភាពតឹងរ៉ឹង» របស់​វា​មាន​ក្នុង​វិមាត្រ​ខុសគ្នា​ទាំងស្រុង​បើ​ប្រៀបធៀប​ទៅ​នឹង​បន្ទប់សម្អាត​ឱសថស្ថាន។ មួយ​ការពារ​អាយុជីវិត​មនុស្ស។ មួយទៀត​ការពារ​ទិន្នផល​ផលិតកម្ម។

ការយល់ដឹងពីភាពខុសគ្នាតម្រូវឱ្យមើលហួសពីអនាម័យកម្រិតផ្ទៃ និងចូលទៅក្នុងតក្កវិជ្ជាស្នូលនៃឧស្សាហកម្មនីមួយៗ។

បន្ទប់សម្អាត ០៤
បន្ទប់សម្អាត ០៣

ការគ្រប់គ្រងភាគល្អិត៖ ការប្រយុទ្ធប្រឆាំងនឹងមេរោគ ទល់នឹង ការគ្រប់គ្រងធូលី

ការគំរាមកំហែងដ៏ធំបំផុតនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតឱសថគឺការចម្លងរោគមីក្រូសរីរាង្គ។

ភាគល្អិតដែលមានទំហំ ≥5µm ជារឿយៗដើរតួជាអ្នកផ្ទុកបាក់តេរី ឬផ្សិត។ នៅក្នុងបរិស្ថានថ្នាក់ A ដ៏សំខាន់ ភាគល្អិតទាំងនេះត្រូវតែអវត្តមានទាំងស្រុង។ គម្លាតណាមួយបង្កឱ្យមានការស៊ើបអង្កេតពេញលេញ - មិនថាបណ្តាលមកពីការសម្លាប់មេរោគមិនគ្រប់គ្រាន់ ការបំពុលរបស់ប្រតិបត្តិករ ឬតំបន់ងាប់ឧបករណ៍នោះទេ។

នៅក្នុងរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីបពាក់កណ្តាលផលិតអគ្គិសនី សត្រូវពិតប្រាកដគឺភាគល្អិតល្អន់បំផុត។

នៅ​ចំណុច​បច្ចេកវិទ្យា​ជឿនលឿន​ដូចជា 3nm ឬ 5nm ភាគល្អិត​តូចៗ​ដូចជា 0.1µm ឬ​សូម្បីតែ 0.05µm អាច​បំផ្លាញ​ភាពសុចរិត​នៃ​សៀគ្វី។ សារធាតុ​ចម្លង​រោគ​មីក្រូទស្សន៍​ទាំងនេះ​អាច​បង្ក​ឲ្យ​មាន​ពិការភាព​ធ្ងន់ធ្ងរ​លើ​បន្ទះ ...

និយាយឱ្យសាមញ្ញ៖

➤បន្ទប់សម្អាតឱសថកំពុងចាប់បាន "អ្នកឈ្លានពាន" (អតិសុខុមប្រាណ)។

➤បន្ទប់ស្អាតសេមីកុងដុកទ័រកំពុងការពារ "ធូលី" (ភាគល្អិតល្អន់ខ្លាំង)។

ជន​ឈ្លានពាន​ម្នាក់​អាច​បង្ក​ឲ្យ​មាន​ព្រឹត្តិការណ៍​គំរាមកំហែង​ដល់​អាយុជីវិត។ ភាគល្អិត​តូច​មួយ​អាច​បំផ្លាញ​បន្ទះ​ឈីប​បាន។

 

គោលបំណងស្នូល៖ សុវត្ថិភាពអ្នកជំងឺ ទល់នឹង ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពទិន្នផល

ភាពខុសគ្នាជាមូលដ្ឋានស្ថិតនៅក្នុងគោលដៅចុងក្រោយ។

បន្ទប់សម្អាតឱសថស្ថាន៖ សុវត្ថិភាពជាចម្បង

ផលិតផលឱសថនីមួយៗនឹងចូលទៅក្នុងខ្លួនមនុស្សនៅទីបំផុត។ ការចម្លងរោគដោយមេរោគណាមួយអាចនាំឱ្យមានផលវិបាកធ្ងន់ធ្ងរផ្នែកវេជ្ជសាស្ត្រ។ ដូច្នេះ បន្ទប់សម្អាតឱសថត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយបទប្បញ្ញត្តិ GMP (ការអនុវត្តការផលិតល្អ) យ៉ាងតឹងរ៉ឹង។

ការរចនា ប្រតិបត្តិការ និងការផ្ទៀងផ្ទាត់ សុទ្ធតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ ការអនុលោមតាមច្បាប់មិនអាចចរចាបានទេ។

បន្ទប់សម្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ ផ្តល់ទិន្នផលមុនគេ

ការ​បំពុល​សូន្យ​ដាច់ខាត​គឺ​មិន​អាច​ទៅ​រួច​ទេ​នៅ​ក្នុង​ការ​ផលិត​ឧបករណ៍​អេឡិចត្រូនិក​អេឡិចត្រូនិក។ ផ្ទុយទៅវិញ រោងចក្រ​ផលិត​មាន​គោលបំណង​បង្កើន​ទិន្នផល ដោយ​ធ្វើ​ឲ្យ​មាន​តុល្យភាព​រវាង​អនាម័យ​និង​ប្រសិទ្ធភាព​ចំណាយ។

ស្តង់ដារដូចជា ISO និង SEMI ផ្តល់គោលការណ៍ណែនាំ ប៉ុន្តែក្រុមហ៊ុននានានៅតែអាចបត់បែនបានក្នុងការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រដោយផ្អែកលើចំណុចដំណើរការ និងការពិចារណាផ្នែកសេដ្ឋកិច្ច។

ភាពខុសគ្នាសំខាន់៖

➤ឱសថស្ថាន៖ «ការបរាជ័យធ្វើឱ្យប៉ះពាល់ដល់អាយុជីវិត»។

➤ ស៊ីមីកុងដុកទ័រ៖ «ការបរាជ័យធ្វើឱ្យខាតបង់លុយ»។

 

ការគ្រប់គ្រងបរិស្ថាន៖ ការដាក់ឱ្យនៅដាច់ដោយឡែក ទល់នឹង ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាព

លំហូរខ្យល់ និងសម្ពាធ

បន្ទប់ស្អាតសម្រាប់ឱសថតម្រូវឱ្យមានភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធយ៉ាងតឹងរ៉ឹង (ជាធម្មតា 10–15 Pa) ដើម្បីការពារការចម្លងរោគឆ្លង។ ប្រព័ន្ធត្រូវតែបង្កសំឡេងរោទិ៍ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មាននាទីប្រសិនបើសម្ពាធបរាជ័យ ព្រោះចរន្តខ្យល់បញ្ច្រាសអាចប៉ះពាល់ដល់ការផលិតទាំងមូល។

ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្តោតលើលំហូរខ្យល់ឯកសណ្ឋាន និងប្រសិទ្ធភាពថាមពល។ ដោយប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធ FFU (Fan Filter Unit) ពួកគេរក្សាលំហូរឡាមីណាបញ្ឈរជាមួយនឹងជម្រាលសម្ពាធដែលធូរស្រាលជាងមុន (2–5 Pa) ដែលជារឿយៗត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរដោយថាមវន្តតាមរយៈការគ្រប់គ្រងប្រេកង់អថេរ។

សីតុណ្ហភាព សំណើម និង AMC

នៅក្នុងបរិយាកាសឱសថ សីតុណ្ហភាព និងសំណើមភាគច្រើនគាំទ្រដល់ផាសុកភាពរបស់អ្នកប្រើប្រាស់ និងការគ្រប់គ្រងមីក្រូសរីរាង្គ។ ខណៈពេលដែលវាមានសារៈសំខាន់ តម្រូវការភាពជាក់លាក់គឺមានកម្រិតមធ្យម។

នៅក្នុងរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីបពាក់កណ្តាលផលិត ការគ្រប់គ្រងបរិស្ថានគឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ចំពោះដំណើរការ។

ឧទាហរណ៍៖

➤តំបន់​ថត​រូប​អាច​ត្រូវការ 22°C ±0.3°C

➤សូម្បីតែការប្រែប្រួលបន្តិចបន្តួចក៏អាចប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃទទឹងបន្ទាត់

ការគ្រប់គ្រង AMC (ការបំពុលម៉ូលេគុលតាមអាកាស) ដែលស្មុគស្មាញជាងនេះទៅទៀតគឺ៖

➤កម្រិត​អាស៊ីត ឬ​អាម៉ូញាក់​តិចតួច​ត្រូវតែ​រក្សា​ទុក​ក្នុង​កម្រិត ppb (ផ្នែក​ក្នុង​មួយ​ពាន់​លាន)

➤សូម្បីតែការចម្លងរោគគីមីតិចតួចបំផុតក៏អាចរំខានដល់អុបទិកលីតូក្រាហ្វី និងកាត់បន្ថយទិន្នផល

កម្រិតនៃការគ្រប់គ្រងគីមីនេះភាគច្រើនអវត្តមាននៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតឱសថ។

បន្ទប់សម្អាត ០១
បន្ទប់សម្អាត ០២

សម្ភារៈ និងការផ្ទៀងផ្ទាត់៖ ភាពគ្មានមេរោគ ធៀបនឹង ស្ថេរភាពគីមី

1.ការជ្រើសរើសសម្ភារៈ

បន្ទប់សម្អាតឱសថស្ថានផ្តល់អាទិភាពដល់៖

➤ភាពធន់នឹងសារធាតុសម្លាប់មេរោគ (ឧទាហរណ៍ ចំហាយអ៊ីដ្រូសែនប៉េរ៉ុកស៊ីត)

➤ផ្ទៃរលោង អាចសម្អាតបាន និងមិនជ្រាបទឹក

រោងចក្រផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្តល់អាទិភាពដល់៖

➤សម្ភារៈបញ្ចេញឧស្ម័នទាប

➤ការបំភាយអ៊ីយ៉ុង ឬសរីរាង្គតិចតួចបំផុត

សម្ភារៈមិនត្រូវបញ្ចេញសារធាតុបំពុលដែលអាចប៉ះពាល់ដល់ភាពសុចរិតនៃបន្ទះ wafer ឡើយ។

2.វិធីសាស្រ្តផ្ទៀងផ្ទាត់

ការផ្ទៀងផ្ទាត់ឱសថគឺផ្អែកលើបទប្បញ្ញត្តិ៖

➤ពិធីការ IQ/OQ/PQ

➤ការក្លែងធ្វើបំពេញមេឌៀ

➤ការអនុម័តពីនិយតករជាកាតព្វកិច្ចសម្រាប់ការផ្លាស់ប្តូរសំខាន់ៗ

ការផ្ទៀងផ្ទាត់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកគឺផ្អែកលើទិន្នន័យ៖

➤ការត្រួតពិនិត្យជាបន្តបន្ទាប់

➤ការគ្រប់គ្រងដំណើរការស្ថិតិ (SPC)

➤ទិន្នន័យទិន្នផលដែលប្រើដើម្បីវាយតម្លៃដំណើរការបន្ទប់ស្អាត

នេះអនុញ្ញាតឱ្យមានភាពបត់បែនកាន់តែច្រើន និងការសម្របខ្លួនបានលឿនជាងមុនទៅនឹងការផ្លាស់ប្តូរបច្ចេកវិទ្យា។

 

សាលក្រមចុងក្រោយ៖ មិនខ្ពស់ជាងនេះទេ—គ្រាន់តែខុសគ្នា

ដូច្នេះ តើបន្ទប់សម្អាតមួយណាដែលទាមទារច្រើនជាង?

ចម្លើយគឺ៖ ទាំងពីរទេ—ពីព្រោះពួកគេទាមទារតាមវិធីខុសគ្នាទាំងស្រុង។

➤បន្ទប់សម្អាតឱសថដំណើរការដូចច្បាប់៖ ថេរ មានបទប្បញ្ញត្តិ និងមិនមានការសម្របសម្រួល។

➤បន្ទប់ស្អាតស៊ីមីកុងដុកទ័រដំណើរការដូចជាក្បួនដោះស្រាយ៖ ធ្វើឱ្យប្រសើរ សម្របខ្លួន និងជំរុញដោយភាពជាក់លាក់។

មួយត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីលុបបំបាត់ហានិភ័យជីវសាស្រ្ត។

មួយទៀតត្រូវបានសាងសង់ឡើងដើម្បីកាត់បន្ថយពិការភាពមីក្រូទស្សន៍។

ការអនុវត្តស្តង់ដារឱសថទៅលើរោងចក្រផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រនឹងបណ្តាលឱ្យមានការកើនឡើងនៃថ្លៃដើមដែលមិនចាំបាច់។ ការអនុវត្តតក្កវិជ្ជាស៊ីមីកុងដុកទ័រទៅលើបរិយាកាសឱសថនឹងបង្កើតហានិភ័យនៃការអនុលោមតាមច្បាប់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរ។

 

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

បន្ទប់​ស្អាត​មិនមែន​ជា​បន្ទប់​ដែល​មាន​អនាម័យ​ «ទំហំ​តែមួយ​សម្រាប់​ទាំងអស់» ទេ។

ឧស្សាហកម្មនីមួយៗកំណត់អនាម័យដោយផ្អែកលើហានិភ័យ និងគោលបំណងរៀងៗខ្លួន៖

ឱសថស្ថានការពារសុខភាពមនុស្ស

ឧបករណ៍​អេឡិចត្រូនិក​ការពារ​ទិន្នផល​ផលិតកម្ម

មិនមាន «ស្តង់ដារខ្ពស់ជាង» ជាសកលទេ—មានតែស្តង់ដារត្រឹមត្រូវសម្រាប់ការអនុវត្តត្រឹមត្រូវប៉ុណ្ណោះ។

បន្ទប់សម្អាតល្អបំផុតមិនមែនជាតំបន់ដ៏តឹងរ៉ឹងបំផុតនោះទេ ប៉ុន្តែជាតំបន់ដែលសាកសមបំផុតនឹងសមរភូមិរបស់វា។


ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៧ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៦