តើកត្តាអ្វីខ្លះដែលជះឥទ្ធិពលដល់អង្គការលំហូរខ្យល់ក្នុងបន្ទប់ស្អាត?

អត្រាទិន្នផលទិន្នផលក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតកម្មអាយអាយអេមានទំនាក់ទំនងយ៉ាងជិតស្និទ្ធទៅនឹងទំហំនិងចំនួនភាគល្អិតខ្យល់ដែលបានដាក់នៅលើបន្ទះឈីប។ A good airflow organization can take the particles generated by the dust source away from the clean room to ensure the cleanliness of the clean room, that is, the airflow organization in clean room plays a vital role in the yield rate of IC production. ការរចនានៃអង្គការលំហូរផ្លូវដែកក្នុងបន្ទប់ស្អាតត្រូវការសម្រេចបាននូវគោលដៅដូចខាងក្រោមៈកាត់បន្ថយឬលុបបំបាត់ចរន្តអេឌីឌីនៅវាលលំហូរដើម្បីចៀសវាងការរក្សានូវការរក្សាផលដំណាំដែលមានគ្រោះថ្នាក់។ រក្សាជម្រាលសម្ពាធវិជ្ជមានសមស្របដើម្បីការពារការចម្លងរោគឆ្លង។

កម្លាំងខ្យល់

យោងតាមគោលការណ៍បន្ទប់ស្អាតកម្លាំងដែលធ្វើសកម្មភាពលើភាគល្អិតរួមមានកម្លាំងម៉ាសកម្លាំងម៉ូលេគុលការទាក់ទាញរវាងភាគល្អិតកម្លាំងលំហូរខ្យល់។ ល។

កម្លាំងលំហូរខ្យល់: សំដៅទៅលើកម្លាំងនៃលំហូរខ្យល់ដែលបណ្តាលមកពីការដឹកជញ្ជូនត្រឡប់មកវិញលំហូរខ្យល់នៃដំណុះកំដៅកំដៅ, ការជម្រុញសិប្បនិម្មិតនិងលំហូរខ្យល់ផ្សេងទៀតជាមួយនឹងអត្រាលំហូរជាក់លាក់មួយដើម្បីអនុវត្តភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីអនុវត្តភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកនូវភាគល្អិតជាក់លាក់មួយដើម្បីផ្ទុកភាគល្អិត។ សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបច្ចេកទេសនៃបរិយាកាសបន្ទប់ស្អាតកម្លាំងខ្យល់គឺជាកត្តាសំខាន់បំផុត។

ការពិសោធន៍បានបង្ហាញថានៅក្នុងចលនាលំហូរខ្យល់ភាគល្អិតអនុវត្តតាមចលនាលំហូរខ្យល់ក្នុងល្បឿនស្ទើរតែដូចគ្នា។ ស្ថានភាពនៃភាគល្អិតនៅលើអាកាសត្រូវបានកំណត់ដោយការចែកចាយលំហអាកាស។ លំហូរខ្យល់ដែលជះឥទ្ធិពលដល់ភាគល្អិតក្នុងផ្ទះរួមមាន: លំហូរខ្យល់នៃខ្យល់ (រួមទាំងលំហូរខ្យល់បឋមនិងលំហូរខ្យល់បន្ទាប់បន្សំ) លំហូរខ្យល់និងលំហូរកំដៅដែលបណ្តាលមកពីមនុស្សដែលបណ្តាលមកពីដំណើរការដំណើរការនិងឧបករណ៍ឧស្សាហកម្ម។ វិធីផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ខុសគ្នាឧបករណ៍វាស់ល្បឿនឧបករណ៍ប្រតិបត្តិករប្រតិបត្តិករប្រតិបត្តិករប្រតិបត្តិករប្រតិបត្តិករប្រតិបត្តិករប្រតិបត្ដិការប្រប្រែនិងបាតុភូតក្នុងបន្ទប់ស្អាតគឺជាកត្តាទាំងអស់ដែលជះឥទ្ធិពលដល់កំរិតអនាម័យ។

កត្តាដែលប៉ះពាល់ដល់អង្គការលំហូរខ្យល់

1 ។ ឥទ្ធិពលនៃវិធីផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់

(1) ។ ល្បឿនផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់

ដើម្បីធានាបាននូវលំហូរខ្យល់ឯកសណ្ឋានល្បឿនផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ត្រូវតែមានឯកសណ្ឋាននៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដែលមិនមានទិសដៅ។ តំបន់ស្លាប់នៃផ្ទៃនៃការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ត្រូវតែតូច; ហើយសម្ពាធធ្លាក់ចុះនៅ Ulpa ក៏ត្រូវតែមានឯកសណ្ឋានផងដែរ។

ល្បឿនផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ឯកសណ្ឋាន: នោះគឺភាពមិនស្មើគ្នានៃលំហូរខ្យល់ត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងចន្លោះ 20% ។

តំបន់ដែលងាប់តិចនៅលើផ្ទៃនៃការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់: មិនត្រឹមតែតំបន់យន្ដហោះនៃស៊ុម Ulpa ត្រូវបានកាត់បន្ថយទេប៉ុន្តែសំខាន់ជាងនេះទៅទៀត "។

ដើម្បីធានាបាននូវលំហូរខ្យល់ផ្នែកបញ្ឈរមួយបញ្ឈរសម្ពាធទម្លាក់ការជ្រើសរើសរបស់តម្រងក៏មានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ដែលតម្រូវឱ្យមានសម្ពាធបាត់បង់សម្ពាធក្នុងតម្រងមិនអាចងាកចេញបាន។

(2) ។ ការប្រៀបធៀបរវាងប្រព័ន្ធ FFU និងប្រព័ន្ធកង្ហារលំហូរអ័ក្សអ័ក្ស

FFU គឺជាអង្គភាពផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ដែលមានកង្ហារនិងតម្រង (Ulpa) ។ បន្ទាប់ពីខ្យល់ត្រូវបានបូមយកដោយអ្នកគាំទ្រ Centrifugal នៃ FFU សម្ពាធថាមវន្តត្រូវបានបម្លែងទៅជាសម្ពាធឋិតិវន្តនៅក្នុងបំពង់ខ្យល់និងផ្លុំចេញដោយ Ulpa ។ សម្ពាធនៃការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់នៅលើពិដានគឺសម្ពាធអវិជ្ជមានដូច្នេះមិនមានធូលីនឹងលេចធ្លាយចូលក្នុងបន្ទប់ស្អាតទេនៅពេលដែលតម្រងត្រូវបានជំនួស។ ការពិសោធន៍បានបង្ហាញថាប្រព័ន្ធ FFU គឺប្រសើរជាងប្រព័ន្ធកង្ហារលំហូរលំហូរអ័ក្សទាក់ទងនឹងឯកសណ្ឋាននៃខ្យល់អាកាសនិងសន្ទស្សន៍ប្រសិទ្ធភាពនៃខ្យល់។ នេះគឺដោយសារតែភាពប៉ិនប្រសប់នៃខ្យល់នៃប្រព័ន្ធ FFU គឺល្អប្រសើរជាងមុន។ ការប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធ FFU អាចធ្វើឱ្យលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដែលបានរៀបចំកាន់តែប្រសើរ។

(3) ។ ឥទ្ធិពលនៃរចនាសម្ព័ន្ធផ្ទាល់ខ្លួនរបស់ FFU

FFU ត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងរបស់អ្នកគាំទ្រតម្រងឧបករណ៍ការពារលំហម័រឧបករណ៍និងសមាសធាតុផ្សេងទៀត។ ការតម្រងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់បំផុត Ulpa គឺជាការធានាដ៏សំខាន់បំផុតសម្រាប់បន្ទប់ស្អាតអាចទទួលបាននូវភាពស្អាតនៃការរចនា។ សម្ភារៈនៃតម្រងក៏នឹងប៉ះពាល់ដល់ឯកសណ្ឋាននៃវាលលំហូរផងដែរ។ នៅពេលដែលសម្ភារៈតម្រងដែលរដុបឬចានលំហូរ lilar ត្រូវបានបន្ថែមទៅក្នុងសាខាតម្រងវាលលំហូរខាងក្រៅអាចងាយធ្វើឯកសណ្ឋានយ៉ាងងាយស្រួល។

2 ។ ផលប៉ះពាល់នៃចំណុចប្រទាក់ល្បឿនខុសគ្នានៃភាពស្អាតស្អំ

នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដូចគ្នារវាងតំបន់ធ្វើការនិងតំបន់ដែលមិនដំណើរការនៃលំហូរមិនដំណើរការបញ្ឈរដោយសារតែភាពខុសគ្នានៃល្បឿនខ្យល់នៅតាមច្រកចេញដែលមានប្រសិទ្ធិភាព vortex ចម្រុះនឹងត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅចំណុចប្រទាក់នេះហើយចំណុចប្រទាក់នេះនឹងក្លាយជាភាពច្របូកច្របល់នេះហើយចំណុចប្រទាក់នេះនឹងក្លាយជាច្របូកច្របល់។ តំបន់លំហូរខ្យល់ដែលមានអាំងតង់ស៊ីតេច្របូកច្របល់ខ្លាំងជាពិសេស។ ភាគល្អិតអាចត្រូវបានបញ្ជូនទៅផ្ទៃនៃឧបករណ៍ហើយបំពុលបរិស្ថាននិងវង្វេងស្មារតី។

3 ។ ផលប៉ះពាល់នៃបុគ្គលិកនិងឧបករណ៍

នៅពេលបន្ទប់ស្អាតទទេលក្ខណៈលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបន្ទប់ជាទូទៅបំពេញតាមតម្រូវការនៃការរចនា។ នៅពេលគ្រឿងបរិក្ខារចូលបន្ទប់ស្អាតចលនាបុគ្គលិកនិងផលិតផលត្រូវបានបញ្ជូនវានឹងត្រូវបានបញ្ជូនវាជាឧបសគ្គចំពោះអង្គការលំហូរខ្យល់។ ឧទាហរណ៍នៅជ្រុងដែលលេចចេញឬគែមនៃឧបករណ៍នេះហ្គាសនឹងត្រូវបានបង្វែរឡើងវិញដើម្បីបង្កើតជាតំបន់ច្របូកច្របល់ហើយវត្ថុរាវនៅក្នុងតំបន់មិនងាយត្រូវបានអនុវត្តដោយហ្គាសដូច្នេះបង្កឱ្យមានការបំពុល។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះផ្ទៃនៃឧបករណ៍នឹងឡើងកំដៅដោយសារតែប្រតិបត្តិការជាបន្តបន្ទាប់ហើយជម្រាលសីតុណ្ហភាពនឹងបណ្តាលឱ្យតំបន់រដូវត្រជាក់នៅជិតម៉ាស៊ីនដែលនឹងបង្កើនការប្រមូលផ្តុំភាគល្អិតនៅក្នុងតំបន់រដូវកាលនៃតំបន់រដូវកាលនៃតំបន់រដូវកាលការតុបតែង។ ទន្ទឹមនឹងនេះសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នឹងងាយបណ្តាលឱ្យភាគល្អិតរត់គេចខ្លួន។ ផលប៉ះពាល់ពីរធ្វើឱ្យមានការលំបាកក្នុងការត្រួតពិនិត្យអក្សរសិល្ប៍លីម៉ារ៉ាបញ្ឈរទាំងមូល។ ធូលីមកពីប្រតិបត្តិករនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតគឺងាយស្រួលណាស់ក្នុងការប្រកាន់ខ្ជាប់នូវវែរដែលមាននៅក្នុងតំបន់ដែលចែងចាំងទាំងនេះ។

4 ។ ឥទ្ធិពលនៃជាន់ខ្យល់ត្រឡប់មកវិញ

នៅពេលដែលភាពធន់នៃការវិលត្រឡប់នៃខ្យល់ត្រឡប់មកវិញបានឆ្លងកាត់ជាន់គឺខុសគ្នាភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធនឹងត្រូវបានបង្កើតដូច្នេះខ្យល់នឹងហូរតាមទិសដៅនៃការតស៊ូតិចហើយលំហូរខ្យល់មិនមាន។ វិធីសាស្រ្តរចនាពេញនិយមនាពេលបច្ចុប្បន្នគឺប្រើជាន់លើកកំពស់។ នៅពេលដែលអត្រាបើកនៃជាន់កើនឡើងគឺ 10% ល្បឿនលំហូរខ្យល់នៅក្នុងកម្ពស់ការងារនៃបន្ទប់របស់បន្ទប់អាចត្រូវបានចែកចាយស្មើៗគ្នា។ លើសពីនេះទៀតការយកចិត្តទុកដាក់យ៉ាងតឹងរឹងគួរតែត្រូវបានបង់សម្រាប់ការសម្អាតការងារដើម្បីកាត់បន្ថយប្រភពនៃការបំពុលនៃជាន់។

5 ។ បាតុភូត Instomenon

បាតុភូតដែលគេហៅថាអុបទិកសំដៅទៅលើបាតុភូតដែលលំហអាកាសនៅក្នុងទិសដៅផ្ទុយនៃលំហូរឯកសណ្ឋានត្រូវបានបង្កើតហើយធូលីដែលបានបង្កើតក្នុងបន្ទប់ឬធូលីនៅតំបន់ដែលមានកខ្វក់ដែលនៅជាប់គ្នាត្រូវបានបណ្តាលឱ្យអាប់អួដែលបានធ្វើឱ្យធូលីដែលនៅជាប់គ្នាដូច្នេះធូលីដែលនៅជាប់គ្នាដូច្នេះធូលីដែលនៅជាប់គ្នាដូច្នេះធូលីដែលនៅជាប់គ្នាត្រូវបានបង្កើតឡើង។ អាចបំពុលបន្ទះឈីប។ ខាងក្រោមនេះគឺជាបាតុភូតដែលអាចកើតមាន:

(1) ។ ចានពិការភ្នែក

នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដែលមានលំហូរដែលមិនមានភាពមិនច្បាស់ដោយសារតែសន្លាក់នៅលើជញ្ជាំងជាទូទៅមានស្លាកពិការភ្នែកធំ ៗ ដែលនឹងបង្កើតភាពច្របូកច្របល់ក្នុងលំហូរត្រឡប់មកវិញនៃការត្រឡប់មកវិញក្នុងតំបន់។

(2) ។ ចង្កូវ

ឧបករណ៍បំភ្លឺនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតនឹងមានផលប៉ះពាល់កាន់តែខ្លាំង។ ចាប់តាំងពីកំដៅនៃចង្កៀង fluorescent បណ្តាលឱ្យលំហូរខ្យល់កើនឡើងវានឹងមិនមានតំបន់ច្របូកច្របល់នៅក្រោមចង្កៀង fluorescent ។ ជាទូទៅចង្កៀងនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតត្រូវបានរចនាឡើងក្នុងរាងស្រាលដ្រីកដើម្បីកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃចង្កៀងនៅលើអង្គការលំហូរខ្យល់។

(3. ) ចន្លោះប្រហោងរវាងជញ្ជាំង

នៅពេលមានចន្លោះប្រហោងរវាងភាគថាសដែលមានកម្រិតអនាម័យខុសគ្នាឬរវាងភាគថាសនិងពិដានធូលីមកពីតំបន់ដែលមានតម្រូវការអំបិលទាបអាចត្រូវបានផ្ទេរទៅតំបន់ដែលនៅជាប់នឹងតំបន់ដែលនៅជាប់នឹងផ្ទៃខាងលិចដែលមានតម្រូវការអនាម័យខ្ពស់។

(4) ។ ចម្ងាយរវាងម៉ាស៊ីននិងជាន់ឬជញ្ជាំង

ប្រសិនបើគម្លាតរវាងម៉ាស៊ីននិងជាន់ឬជញ្ជាំងតូចណាស់វានឹងបណ្តាលឱ្យមានភាពច្របូកច្របល់ឡើងវិញ។ ដូច្នេះទុកគំលាតរវាងឧបករណ៍និងជញ្ជាំងហើយលើកម៉ាស៊ីនដើម្បីជៀសវាងការឱ្យម៉ាស៊ីនប៉ះដីដោយផ្ទាល់។