តើកត្តាអ្វីខ្លះដែលជះឥទ្ធិពលដល់ការរៀបចំលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត?

អត្រាទិន្នផលបន្ទះឈីបនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិត IC គឺទាក់ទងយ៉ាងជិតស្និទ្ធទៅនឹងទំហំ និងចំនួនភាគល្អិតខ្យល់ដែលដាក់នៅលើបន្ទះឈីប។ អង្គការលំហូរខ្យល់ល្អអាចយកភាគល្អិតដែលបង្កើតដោយប្រភពធូលីចេញពីបន្ទប់ស្អាត ដើម្បីធានាបាននូវភាពស្អាតនៃបន្ទប់ស្អាត ពោលគឺអង្គការលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងអត្រាទិន្នផលនៃការផលិត IC ។ ការរចនានៃអង្គការលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតត្រូវការដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលដៅដូចខាងក្រោម: កាត់បន្ថយឬលុបបំបាត់ចរន្ត eddy នៅក្នុងវាលលំហូរដើម្បីជៀសវាងការរក្សាទុកនៃភាគល្អិតដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់; រក្សាជម្រាលសម្ពាធវិជ្ជមានសមស្រប ដើម្បីការពារការចម្លងរោគឆ្លង។

កម្លាំងខ្យល់

យោងតាមគោលការណ៍បន្ទប់ស្អាត កម្លាំងដែលធ្វើសកម្មភាពលើភាគល្អិតរួមមាន កម្លាំងម៉ាស កម្លាំងម៉ូលេគុល ការទាក់ទាញរវាងភាគល្អិត កម្លាំងលំហូរខ្យល់។ល។

កម្លាំងលំហូរខ្យល់៖ សំដៅលើកម្លាំងនៃលំហូរខ្យល់ដែលបណ្តាលមកពីការបញ្ជូន លំហូរខ្យល់ត្រឡប់មកវិញ លំហូរខ្យល់កម្ដៅ ការកូរសិប្បនិម្មិត និងលំហូរខ្យល់ផ្សេងទៀតដែលមានអត្រាលំហូរជាក់លាក់ដើម្បីដឹកភាគល្អិត។ សម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យបច្ចេកទេសនៃបរិយាកាសបន្ទប់ស្អាត កម្លាំងលំហូរខ្យល់គឺជាកត្តាសំខាន់បំផុត។

ការពិសោធន៍បានបង្ហាញថានៅក្នុងចលនាលំហូរខ្យល់ ភាគល្អិតដើរតាមចលនាលំហូរខ្យល់ក្នុងល្បឿនស្ទើរតែដូចគ្នា។ ស្ថានភាពនៃភាគល្អិតនៅក្នុងខ្យល់ត្រូវបានកំណត់ដោយការបែងចែកលំហូរខ្យល់។ លំហូរខ្យល់ដែលប៉ះពាល់ដល់ភាគល្អិតក្នុងផ្ទះភាគច្រើនរួមមានៈ លំហូរខ្យល់ផ្គត់ផ្គង់ (រួមទាំងលំហូរខ្យល់បឋម និងលំហូរខ្យល់បន្ទាប់បន្សំ) លំហូរខ្យល់ និងលំហូរខ្យល់កម្ដៅដែលបណ្តាលមកពីមនុស្សដើរ និងលំហូរខ្យល់ដែលបណ្តាលមកពីដំណើរការដំណើរការ និងឧបករណ៍ឧស្សាហកម្ម។ វិធីសាស្រ្តផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ផ្សេងៗគ្នា ចំណុចប្រទាក់ល្បឿន ប្រតិបត្តិករ និងឧបករណ៍ឧស្សាហកម្ម និងបាតុភូតដែលបង្កឡើងនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត គឺជាកត្តាទាំងអស់ដែលប៉ះពាល់ដល់កម្រិតអនាម័យ។

កត្តាដែលប៉ះពាល់ដល់អង្គការលំហូរខ្យល់

1. ឥទ្ធិពលនៃវិធីសាស្រ្តផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់

(១). ល្បឿនផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់

ដើម្បីធានាបាននូវលំហូរខ្យល់ឯកសណ្ឋាន ល្បឿនផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ត្រូវតែមានឯកសណ្ឋាននៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត unidirectional; តំបន់ស្លាប់នៃផ្ទៃផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ត្រូវតែតូច; ហើយការធ្លាក់ចុះសម្ពាធនៅក្នុង ULPA ក៏ត្រូវតែដូចគ្នាដែរ។

ល្បឿនផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ឯកសណ្ឋាន៖ នោះគឺភាពមិនស្មើគ្នានៃលំហូរខ្យល់ត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់±20%។

តំបន់ស្លាប់តិចលើផ្ទៃផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់៖ មិនត្រឹមតែតំបន់យន្តហោះនៃស៊ុម ULPA គួរតែត្រូវបានកាត់បន្ថយប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែសំខាន់ជាងនេះទៅទៀតនោះ ម៉ូឌុល FFU គួរតែត្រូវបានអនុម័ត ដើម្បីសម្រួលដល់ស៊ុមដែលលែងត្រូវការតទៅទៀត។

ដើម្បីធានាបាននូវលំហូរខ្យល់តាមទិសបញ្ឈរ ការជ្រើសរើសការធ្លាក់ចុះសម្ពាធនៃតម្រងក៏មានសារៈសំខាន់ផងដែរ ដែលតម្រូវឱ្យការបាត់បង់សម្ពាធនៅក្នុងតម្រងមិនអាចងាកចេញបានទេ។

(២). ការប្រៀបធៀបរវាងប្រព័ន្ធ FFU និងប្រព័ន្ធកង្ហារលំហូរអ័ក្ស

FFU គឺជាអង្គភាពផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ដែលមានកង្ហារ និងតម្រង (ULPA)។ បន្ទាប់ពីខ្យល់ត្រូវបានស្រូបចូលដោយកង្ហារកណ្តាលនៃ FFU សម្ពាធថាមវន្តត្រូវបានបំប្លែងទៅជាសម្ពាធឋិតិវន្តនៅក្នុងបំពង់ខ្យល់ ហើយផ្លុំចេញស្មើៗគ្នាដោយ ULPA ។ សម្ពាធផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់នៅលើពិដានគឺជាសម្ពាធអវិជ្ជមាន ដូច្នេះគ្មានធូលីនឹងលេចធ្លាយចូលក្នុងបន្ទប់ស្អាតនៅពេលតម្រងត្រូវបានជំនួស។ ការពិសោធន៍បានបង្ហាញថាប្រព័ន្ធ FFU មានភាពល្អប្រសើរជាងប្រព័ន្ធកង្ហារលំហូរអ័ក្សនៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃឯកសណ្ឋាននៃរន្ធខ្យល់ ភាពស្របគ្នានៃលំហូរខ្យល់ និងសន្ទស្សន៍ប្រសិទ្ធភាពខ្យល់។ នេះគឺដោយសារតែលំហូរខ្យល់ស្របគ្នានៃប្រព័ន្ធ FFU គឺប្រសើរជាង។ ការប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធ FFU អាចធ្វើឱ្យលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតរៀបចំបានល្អជាងមុន។

(៣). ឥទ្ធិពលនៃរចនាសម្ព័ន្ធផ្ទាល់ខ្លួនរបស់ FFU

FFU ត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងដោយកង្ហារ តម្រង ឧបករណ៍ណែនាំលំហូរខ្យល់ និងសមាសធាតុផ្សេងៗទៀត។ តម្រងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ULPA គឺជាការធានាដ៏សំខាន់បំផុតសម្រាប់ថាតើបន្ទប់ស្អាតអាចសម្រេចបាននូវភាពស្អាតតាមតម្រូវការនៃការរចនា។ សម្ភារៈនៃតម្រងក៏នឹងប៉ះពាល់ដល់ឯកសណ្ឋាននៃវាលលំហូរផងដែរ។ នៅពេលដែលសម្ភារៈតម្រងរដុប ឬបន្ទះលំហូរ laminar ត្រូវបានបន្ថែមទៅព្រីចម្រោះ នោះវាលលំហូរចេញអាចត្រូវបានធ្វើឱ្យមានលក្ខណៈឯកសណ្ឋានយ៉ាងងាយស្រួល។

2. ផលប៉ះពាល់នៃចំណុចប្រទាក់ល្បឿនខុសៗគ្នានៃភាពស្អាត

នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដូចគ្នា រវាងតំបន់ធ្វើការ និងតំបន់មិនដំណើរការនៃលំហូរ unidirectional បញ្ឈរ ដោយសារតែភាពខុសគ្នានៃល្បឿនខ្យល់នៅព្រី ULPA ឥទ្ធិពល vortex ចម្រុះនឹងត្រូវបានបង្កើតនៅចំនុចប្រទាក់ ហើយចំណុចប្រទាក់នេះនឹងក្លាយជាតំបន់លំហូរខ្យល់ដែលមានភាពច្របូកច្របល់ជាមួយនឹងអាំងតង់ស៊ីតេនៃខ្យល់ខ្លាំងជាពិសេស។ ភាគល្អិត​អាច​នឹង​ត្រូវ​បាន​បញ្ជូន​ទៅ​លើ​ផ្ទៃ​ឧបករណ៍ និង​បំពុល​បរិក្ខារ​និង​ក្រដាស់​ជូត។

3. ផលប៉ះពាល់នៃបុគ្គលិកនិងឧបករណ៍

នៅពេលដែលបន្ទប់ស្អាតគឺទទេ លក្ខណៈលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបន្ទប់ជាទូទៅបំពេញតាមតម្រូវការនៃការរចនា។ នៅពេលដែលឧបករណ៍ចូលក្នុងបន្ទប់ស្អាត បុគ្គលិកផ្លាស់ទី និងផលិតផលត្រូវបានបញ្ជូន វានឹងជៀសមិនផុតពីឧបសគ្គដល់អង្គការលំហូរខ្យល់។ ឧទាហរណ៍ នៅជ្រុង ឬគែមនៃឧបករណ៍ ឧស្ម័ននឹងត្រូវបានបង្វែរទៅបង្កើតជាតំបន់ដែលមានភាពច្របូកច្របល់ ហើយវត្ថុរាវក្នុងតំបន់មិនងាយយកតាមខ្លួនដោយឧស្ម័នទេ ដូច្នេះវាបណ្តាលឱ្យមានការបំពុល។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ផ្ទៃនៃឧបករណ៍នឹងឡើងកំដៅដោយសារតែប្រតិបត្តិការជាបន្តបន្ទាប់ ហើយជម្រាលសីតុណ្ហភាពនឹងបណ្តាលឱ្យមានតំបន់ reflow នៅជិតម៉ាស៊ីន ដែលនឹងបង្កើនការប្រមូលផ្តុំនៃភាគល្អិតនៅក្នុងតំបន់ reflow ។ ទន្ទឹមនឹងនេះ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់នឹងធ្វើឱ្យភាគល្អិតគេចចេញបានយ៉ាងងាយ។ ឥទ្ធិពលទ្វេធ្វើឱ្យមានការលំបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងភាពស្អាតនៃ laminar បញ្ឈរទាំងមូល។ ធូលីពីប្រតិបត្តិករនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតគឺងាយស្រួលណាស់ក្នុងការប្រកាន់ខ្ជាប់ទៅនឹង wafers នៅក្នុងតំបន់ reflow ទាំងនេះ។

4. ឥទ្ធិពលនៃជាន់ខ្យល់ត្រឡប់មកវិញ

នៅពេលដែលភាពធន់នៃខ្យល់ត្រឡប់មកវិញដែលឆ្លងកាត់កំរាលឥដ្ឋមានភាពខុសប្លែកគ្នា ភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធនឹងត្រូវបានបង្កើត ដូច្នេះខ្យល់នឹងហូរក្នុងទិសដៅនៃភាពធន់តិច ហើយលំហូរខ្យល់ឯកសណ្ឋាននឹងមិនត្រូវបានទទួល។ វិធីសាស្រ្តរចនាដ៏ពេញនិយមនាពេលបច្ចុប្បន្នគឺការប្រើជាន់ខ្ពស់។ នៅពេលដែលអត្រានៃការបើកនៃជាន់កើនឡើងគឺ 10% ល្បឿនលំហូរខ្យល់នៅក្នុងកម្ពស់ការងារនៃបន្ទប់អាចត្រូវបានចែកចាយស្មើៗគ្នា។ លើសពីនេះទៀតការយកចិត្តទុកដាក់យ៉ាងតឹងរឹងគួរតែត្រូវបានបង់ទៅការងារសំអាតដើម្បីកាត់បន្ថយប្រភពបំពុលនៃកំរាលឥដ្ឋ។

5. បាតុភូត Induction

បាតុភូតដែលហៅថា induction សំដៅទៅលើបាតុភូតដែលលំហូរខ្យល់ក្នុងទិសដៅផ្ទុយនៃលំហូរឯកសណ្ឋានត្រូវបានបង្កើត ហើយធូលីដែលបង្កើតនៅក្នុងបន្ទប់ ឬធូលីដីដែលនៅជាប់គ្នាត្រូវបានជំរុញទៅផ្នែកខាងលើ ដើម្បីឱ្យធូលីអាចបំពុលបន្ទះឈីប។ ខាង​ក្រោម​នេះ​គឺ​ជា​បាតុភូត​ដែល​អាច​កើត​ឡើង៖

(១). ចានពិការភ្នែក

នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដែលមានលំហូរ unidirectional បញ្ឈរ ដោយសារតែសន្លាក់នៅលើជញ្ជាំង ជាទូទៅមានចានពិការភ្នែកធំៗ ដែលនឹងបង្កើតភាពច្របូកច្របល់នៅក្នុងលំហូរត្រឡប់ក្នុងស្រុក។

(២). ចង្កៀង

គ្រឿងបំភ្លឺនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតនឹងមានឥទ្ធិពលខ្លាំងជាង។ ចាប់តាំងពីកំដៅនៃចង្កៀង fluorescent បណ្តាលឱ្យលំហូរខ្យល់កើនឡើងវានឹងមិនមានតំបន់ដែលមានភាពច្របូកច្របល់នៅក្រោមចង្កៀង fluorescent ទេ។ ជាទូទៅ ចង្កៀងនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតត្រូវបានរចនាឡើងជាទម្រង់តំណក់ទឹក ដើម្បីកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃចង្កៀងទៅលើអង្គការលំហូរខ្យល់។

(3.) ចន្លោះរវាងជញ្ជាំង

នៅពេលដែលមានចន្លោះរវាងភាគថាសដែលមានកម្រិតអនាម័យខុសៗគ្នា ឬរវាងភាគថាស និងពិដាន ធូលីចេញពីតំបន់ដែលមានតម្រូវការអនាម័យទាបអាចផ្ទេរទៅតំបន់ជាប់គ្នាជាមួយនឹងតម្រូវការអនាម័យខ្ពស់។

(៤). ចម្ងាយរវាងម៉ាស៊ីននិងជាន់ឬជញ្ជាំង

ប្រសិនបើគម្លាតរវាងម៉ាស៊ីន និងកំរាលឥដ្ឋ ឬជញ្ជាំងមានទំហំតូច វានឹងបង្កឱ្យមានភាពច្របូកច្របល់។ ដូច្នេះហើយ ត្រូវទុកចន្លោះរវាងឧបករណ៍ និងជញ្ជាំង ហើយលើកម៉ាស៊ីនឡើង ដើម្បីចៀសវាងកុំឱ្យម៉ាស៊ីនប៉ះដីដោយផ្ទាល់។