ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធខ្យល់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត

ការការពារបរិស្ថានត្រូវបានយកចិត្តទុកដាក់កាន់តែខ្លាំងឡើង ជាពិសេសជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃអាកាសធាតុអ័ព្ទ។ វិស្វកម្មបន្ទប់ស្អាតគឺជាវិធានការការពារបរិស្ថានមួយ។ តើត្រូវប្រើវិស្វកម្មបន្ទប់ស្អាតដើម្បីធ្វើការងារល្អក្នុងការការពារបរិស្ថានយ៉ាងដូចម្តេច? ចូរនិយាយអំពីការគ្រប់គ្រងក្នុងវិស្វកម្មបន្ទប់ស្អាត។

ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព និងសំណើមនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត

សីតុណ្ហភាព និងសំណើមនៃកន្លែងស្អាតត្រូវបានកំណត់ជាចម្បងដោយផ្អែកលើតម្រូវការដំណើរការ ប៉ុន្តែនៅពេលបំពេញតម្រូវការដំណើរការ ការលួងលោមរបស់មនុស្សគួរតែត្រូវបានយកមកពិចារណា។ ជាមួយនឹងភាពប្រសើរឡើងនៃតម្រូវការអនាម័យខ្យល់ មាននិន្នាការនៃតម្រូវការតឹងរ៉ឹងសម្រាប់សីតុណ្ហភាព និងសំណើមនៅក្នុងដំណើរការ។

ជាគោលការណ៍ទូទៅ ដោយសារតែការបង្កើនភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការ តម្រូវការសម្រាប់ជួរការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពកាន់តែតូចទៅៗ។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងដំណើរការ lithography និង exposure នៃការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាទ្រង់ទ្រាយធំ ភាពខុសគ្នានៃមេគុណពង្រីកកំដៅរវាងកញ្ចក់ និង silicon wafers ដែលប្រើជាសម្ភារៈរបាំងគឺកាន់តែតូចទៅៗ។

ស៊ីលីកុន wafer ដែលមានអង្កត់ផ្ចិត 100 μm បណ្តាលឱ្យមានការពង្រីកលីនេអ៊ែរ 0.24 μ m នៅពេលសីតុណ្ហភាពកើនឡើង 1 ដឺក្រេ។ ដូច្នេះសីតុណ្ហភាពថេរនៃ± 0.1 ℃គឺចាំបាច់ហើយតម្លៃសំណើមជាទូទៅមានកម្រិតទាបព្រោះបន្ទាប់ពីបែកញើសផលិតផលនឹងមានភាពកខ្វក់ជាពិសេសនៅក្នុងសិក្ខាសាលា semiconductor ដែលខ្លាចសូដ្យូម។ ប្រភេទនៃសិក្ខាសាលានេះមិនគួរលើសពី 25 ℃។

សំណើមហួសប្រមាណបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាកាន់តែច្រើន។ នៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងលើសពី 55% condensation នឹងបង្កើតនៅលើជញ្ជាំងបំពង់ទឹកត្រជាក់។ ប្រសិនបើវាកើតឡើងនៅក្នុងឧបករណ៍ជាក់លាក់ ឬសៀគ្វី វាអាចបណ្តាលឱ្យមានគ្រោះថ្នាក់ផ្សេងៗ។ នៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងគឺ 50% វាងាយនឹងច្រេះ។ លើសពីនេះ នៅពេលដែលសំណើមខ្ពស់ពេក ធូលីដែលជាប់នឹងផ្ទៃនៃស៊ីលីកុន wafer នឹងត្រូវបានស្រូបយកដោយសារធាតុគីមីលើផ្ទៃតាមរយៈម៉ូលេគុលទឹកនៅក្នុងខ្យល់ ដែលពិបាកដកចេញ។

សំណើមដែលទាក់ទងកាន់តែខ្ពស់ វាកាន់តែពិបាកក្នុងការដកសារធាតុស្អិត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយនៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងគឺទាបជាង 30% ភាគល្អិតក៏ងាយនឹងស្រូបយកទៅលើផ្ទៃដោយសារតែសកម្មភាពនៃកម្លាំងអេឡិចត្រូត ហើយឧបករណ៍ semiconductor មួយចំនួនធំងាយនឹងបំបែក។ ជួរសីតុណ្ហភាពល្អបំផុតសម្រាប់ការផលិតស៊ីលីកុន wafer គឺ 35-45% ។

សម្ពាធខ្យល់គ្រប់គ្រងនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត 

សម្រាប់កន្លែងស្អាតភាគច្រើន ដើម្បីការពារការបំពុលខាងក្រៅពីការឈ្លានពាន វាចាំបាច់ក្នុងការរក្សាសម្ពាធខាងក្នុង (សម្ពាធឋិតិវន្ត) ខ្ពស់ជាងសម្ពាធខាងក្រៅ (សម្ពាធឋិតិវន្ត)។ ការថែរក្សាភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធជាទូទៅគួរតែអនុវត្តតាមគោលការណ៍ដូចខាងក្រោមៈ

1. សម្ពាធក្នុងកន្លែងស្អាតគួរតែខ្ពស់ជាងកន្លែងដែលមិនស្អាត។

2. សម្ពាធក្នុងចន្លោះដែលមានកម្រិតអនាម័យខ្ពស់គួរតែខ្ពស់ជាងកន្លែងនៅជាប់គ្នាដែលមានកម្រិតអនាម័យទាប។

3. ទ្វាររវាងបន្ទប់ស្អាតគួរតែបើកឆ្ពោះទៅរកបន្ទប់ដែលមានកម្រិតអនាម័យខ្ពស់។

ការថែរក្សាភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធគឺអាស្រ័យលើបរិមាណនៃខ្យល់ស្រស់ដែលគួរតែអាចទូទាត់សងសម្រាប់ការលេចធ្លាយខ្យល់ពីគម្លាតនៅក្រោមភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធនេះ។ ដូច្នេះអត្ថន័យរូបវន្តនៃភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធគឺភាពធន់នៃការលេចធ្លាយ (ឬការជ្រៀតចូល) លំហូរខ្យល់តាមរយៈចន្លោះផ្សេងៗនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត។