សីតុណ្ហភាពនិងសម្ពាធខ្យល់ក្នុងបន្ទប់ស្អាត

ការការពារបរិស្ថានត្រូវបានគេយកចិត្តទុកដាក់កាន់តែច្រើនឡើង ៗ ជាពិសេសជាមួយនឹងអាកាសធាតុអ័ព្ទដែលកំពុងកើនឡើង។ វិស្វកម្មបន្ទប់ស្អាតគឺជាវិធានការការពារបរិស្ថានមួយ។ តើធ្វើដូចម្តេចដើម្បីប្រើវិស្វកម្មបន្ទប់ស្អាតដើម្បីធ្វើការងារបានល្អក្នុងការការពារបរិស្ថាន? ចូរនិយាយអំពីការគ្រប់គ្រងក្នុងវិស្វកម្មបន្ទប់ស្អាត។

សីតុណ្ហភាពនិងសំណើមគ្រប់គ្រងក្នុងបន្ទប់ស្អាត

សីតុណ្ហភាពនិងសំណើមនៃចន្លោះស្អាតត្រូវបានកំណត់ជាចម្បងដោយផ្អែកលើតម្រូវការដំណើរការប៉ុន្តែនៅពេលដែលតម្រូវការដំណើរការដំណើរការការលួងលោមរបស់មនុស្សគួរតែត្រូវបានគិតគូរ។ ជាមួយនឹងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនៃតម្រូវការអនាម័យរបស់អាកាសយានិកមាននិន្នាការនៃតម្រូវការតឹងរឹងសម្រាប់សីតុណ្ហភាពនិងសំណើមនៅក្នុងដំណើរការ។

ជាគោលការណ៍ទូទៅដោយសារតែការកើនឡើងនៃការកែច្នៃនៃដំណើរការតម្រូវការសម្រាប់ការប្រែបំរួលទឹកសីតុណ្ហភាពកាន់តែតូចកាន់តែតូចនិងតូចជាងមុននិងតូចជាងមុន។ ឧទាហរណ៍នៅក្នុងវចនាធិប្បាយនិងដំណើរការនៃការប៉ះពាល់នៃការផលិតសៀគ្វីទ្រង់ទ្រាយធំភាពខុសគ្នានៃមេគុណពង្រីកកម្ដៅរវាងកញ្ចក់និង Silicon Wafers ដែលប្រើជាសំភារៈរបាំងកាន់តែតូច។

Silicon Wafer ដែលមានអង្កត់ផ្ចិត 100 μម៉ែត្របណ្តាលឱ្យមានវិសាលភាពលីនេអ៊ែរ 0,24 μ M នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពកើនឡើង 1 ដឺក្រេ។ ដូច្នេះសីតុណ្ហាភាពថេរនៃ± 0.1 ℃ចាំបាច់ហើយតម្លៃសំណើមជាទូទៅទាបព្រោះបន្ទាប់ពីបែកញើសផលិតផលនឹងមានភាពកខ្វក់ជាពិសេសនៅក្នុងសិក្ខាសាលារបស់អ្នកអេឡិចត្រូនិចដែលខ្លាចជាតិសូដ្យូមដែលខ្លាចជាតិសូដ្យូមដែលខ្លាចសូដ្យូម។ សិក្ខាសាលាប្រភេទនេះមិនគួរលើសពី 25 ℃ទេ។

សំណើមលើសបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាកាន់តែច្រើន។ នៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងលើសពី 55% ការខាប់នឹងបង្កើតនៅលើជញ្ជាំងបំពង់ទឹកត្រជាក់។ ប្រសិនបើវាកើតឡើងក្នុងឧបករណ៍ជាក់លាក់ឬសៀគ្វីវាអាចបណ្តាលឱ្យមានគ្រោះថ្នាក់ផ្សេងៗ។ នៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងគឺ 50% វាងាយស្រួលក្នុងការច្រែះ។ លើសពីនេះទៀតនៅពេលដែលសំណើមខ្ពស់ពេកធូលីប្រឡាក់ធូលីទៅនឹងផ្ទៃនៃវ៉ាលីលីកុននឹងត្រូវបាន adsorbed គីមីនៅលើផ្ទៃផែនដីតាមរយៈម៉ូលេគុលទឹកនៅលើអាកាសដែលពិបាកដកចេញ។

សំណើមខ្ពស់ជាងដែលទាក់ទងនឹងវាគឺពិបាកយកការស្អិតវដ្តនេះ។ ទោះយ៉ាងណានៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងគឺទាបជាង 30% ភាគល្អិតក៏ត្រូវបាន adsorbed យ៉ាងងាយស្រួលនៅលើផ្ទៃផងដែរដោយសារតែសកម្មភាពរបស់កម្លាំងអេឡិចត្រូម៉ាញវិទ្យានិងចំនួនដ៏ច្រើននៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលងាយនឹងបែកបាក់។ ជួរសីតុណ្ហភាពល្អបំផុតសម្រាប់ផលិតកម្ម Silicon Wafer គឺ 35-45% ។

សម្ពាធខ្យល់ការរតយតបិនិត្យនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត 

សម្រាប់ទីធ្លាស្អាតបំផុតដើម្បីការពារការបំពុលបរិយាកាសពីខាងក្រៅពីការលុកលុយវាចាំបាច់ត្រូវរក្សាសម្ពាធផ្ទៃក្នុងខ្ពស់ជាងសម្ពាធខាងក្រៅ (សម្ពាធឋិតិវន្ត) ។ ការថែរក្សាភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធគួរតែអនុវត្តតាមគោលការណ៍ដូចខាងក្រោមៈ

1 ។ សម្ពាធក្នុងចន្លោះស្អាតគួរតែខ្ពស់ជាងកន្លែងដែលមិនស្អាត។

2 ។ សម្ពាធក្នុងចន្លោះដែលមានកម្រិតអនាម័យស្អាតខ្ពស់គួរតែខ្ពស់ជាងកន្លែងដែលនៅជាប់នឹងកន្លែងដែលនៅជាប់គ្នាដែលមានកម្រិតអនាម័យទាប។

3 ។ ទ្វាររវាងបន្ទប់ស្អាតគួរតែត្រូវបានបើកឆ្ពោះទៅរកបន្ទប់ដែលមានកម្រិតអនាម័យខ្ពស់។

ការថែរក្សាភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធគឺអាស្រ័យលើបរិមាណខ្យល់អាកាសបរិសុទ្ធដែលគួរតែមានលទ្ធភាពទូទាត់សងសម្រាប់ការលេចធ្លាយខ្យល់ពីគម្លាតក្រោមសម្ពាធនេះ។ ដូច្នេះអត្ថន័យរាងកាយនៃភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធគឺភាពធន់ទ្រាំនៃការលេចធ្លាយ (ឬការជ្រៀតចូល) លំហូរខ្យល់តាមរយៈចន្លោះប្រហោងផ្សេងៗនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត។